ULPA過(guò)濾器
ULPA是指使用與HEPA過(guò)濾器類(lèi)似的制造技術(shù)但具有不同性能標(biāo)準(zhǔn)的空氣過(guò)濾器。像HEPA標(biāo)準(zhǔn)一樣,ULPA標(biāo)準(zhǔn)的定義也有所不同。標(biāo)準(zhǔn)NSF / ANSI 49使用F型和K型ULPA濾波器。根據(jù)測(cè)試方法IEST-RP-CC001,它是F型ULPA過(guò)濾器,必須除去0.1微米至0.2微米之間或0.2微米至0.3微米之間的99.999%的污染物。K型ULPA過(guò)濾器必須去除0.1-0.2微米或0.2-0.3微米的99.995%的顆粒。與HEPA過(guò)濾器一樣,ULPA過(guò)濾器可以去除大于和小于測(cè)試尺寸的顆粒。該規(guī)范設(shè)定了zui低效率,這意味著與HEPA過(guò)濾器相比,ULPA過(guò)濾器從空氣中去除的材料更多。在EN1822-1下,zui小MPPS為0。
增加的過(guò)濾確實(shí)需要付出代價(jià)。ULPA過(guò)濾器通常比HEPA過(guò)濾器貴35%。HEPA過(guò)濾器的平均使用壽命為10年,而ULPA過(guò)濾器的使用壽命通常為5至8年。與HEPA過(guò)濾器相比,ULPA過(guò)濾器平均通過(guò)的空氣也要少20%至50%。要使相同體積的空氣通過(guò)相同尺寸的ULPA過(guò)濾器,將比使用HEPA過(guò)濾器所需的力大得多。表面積較大或厚度較大的過(guò)濾器會(huì)增加可以通過(guò)的空氣量,但會(huì)增加BSC的尺寸。